Spacer-first damascene-gate FinFET architecture featuring stringer-free integration - Université Toulouse 1 Capitole
Article Dans Une Revue IEEE Electron Device Letters Année : 2007

Spacer-first damascene-gate FinFET architecture featuring stringer-free integration

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hal-00255851 , version 1 (18-09-2024)

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F. Cornu-Fruleux, Julien Penaud, Emmanuel Dubois, Philippe Coronel, Guilhem Larrieu, et al.. Spacer-first damascene-gate FinFET architecture featuring stringer-free integration. IEEE Electron Device Letters, 2007, 28, pp.523-526. ⟨10.1109/LED.2007.897443⟩. ⟨hal-00255851⟩
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